Nghiên cứu tính chất vật liệu và vật lý của màng mỏng SnO2:F chế tạo bằng phương pháp phun phủ nhiệt phân có hỗ trợ siêu âm

Nhóm nghiên cứu tại Trường Đại học Y dược Cần Thơ đã thực hiện đề tài: “Nghiên cứu tính chất vật liệu và vật lý của màng mỏng SnO2:F chế tạo bằng phương pháp phun phủ nhiệt phân có hỗ trợ siêu âm” trong thời gian từ năm 2016 đến năm 2019. Đề tài do TS. Lê Hữu Phước làm chủ nhiệm.

Đề tài tập trung thực hiện các mục tiêu sau:

- Nghiên cứu và xây dựng quy trình tối ưu để chế tạo màng mỏng thiếc oxit pha tạp F trên đế thủy tinh có chất lượng cao và chi phí thấp bằng phương pháp phun phủ nhiệt phân có hỗ trợ siêu âm.

- Nghiên cứu đặc trưng ρ(T) và từ trở MR của màng FTO được chế tạo với các tỷ suất nguyên tử F/Sn và nhiệt độ ủ khác nhau nhằm hiểu biết sâu về ảnh hưởng của yếu tố pha tạp F và nhiệt độ ủ lên cơ chế dẫn điện màng.

- Nghiên cứu tính chất cơ học (suất Young và độ cứng) của màng FTO có nồng độ pha tạp F và nhiệt độ ủ khác nhau.

Một số nội dung nổi bật của đề tài:

1) Đã chế tạo thành công màng SnO2:F trên đế thủy tinh có độ dẫn điện và độ truyền quang cao.

2) Đã nghiên cứu hoàn chỉnh toàn bộ kết quả về ảnh hưởng của nhiệt độ đế, nhiệt độ ủ, tỉ lệ khí mang O2/N2, tỉ lệ pha F pha tạp và bề dày màng lên tính chất điện, quang, cấu trúc tinh thể, hình thái học, và tính chất cơ học của màng.

3) Công bố được 01 bài báo thuộc danh mục ISI uy tín, và 01 bài hội nghị quốc gia theo hướng hướng nghiên cứu của đề tài.

4) Nhờ nguồn kinh phí tài trợ của Quỹ NAFOSTED, nhóm nghiên cứu kết hợp với một số giáo sư Đài Loan đã tiến hành nghiên cứu và công bố thêm được một số bài báo ISI, chương sách quốc tế, và bài hội nghị về vật liệu nhiệt điện, tính chất đặc biệt của điện môi tôpô, tính chất cơ học của màng mỏng, vật liệu quang xúc tác, vật liệu nano.

Phương pháp phun phủ nhiệt phân có hỗ trợ siêu âm cho phép chế tạo màng mỏng dẫn điện trong suốt SnO2:F có tính chất tốt, có thể dùng làm điện cực cho các thiết bị quang điện tử và làm đế cho các thí nghiệm nghiên cứu. Tuy nhiên, để thương mại hóa sản phẩm màng SnO2:F trên đế thủy tinh thì cần nghiên cứu thêm về sự đồng nhất và tính chất của màng khi chế tạo trên đế có kích thước lớn. Ngoài ra, chế tạo màng mỏng SnO2 pha tạp một số nguyên tố khác có thể sẽ là chủ đề thú vị để phát triển thêm hướng nghiên cứu này.

Có thể tìm đọc báo cáo kết quả nghiên cứu (mã số 16261/2019) tại Cục Thông tin Khoa học và Công nghệ Quốc gia.

N.P.D (NASATI)