Levitation Micro-Systems. Applications to Sensors and Actuators
Cập nhật vào: Thứ năm - 27/07/2023 15:20
Nhan đề chính: Levitation Micro-Systems. Applications to Sensors and Actuators
Nhan đề dịch: Công nghệ vi hệ thống. Ứng dụng cho cảm biến và thiết bị truyền động
Tác giả: Kirill Poletkin
Nhà xuất bản: Springer Cham
Năm xuất bản: 2020
Số trang:174 tr.
Ngôn ngữ: Tiếng Anh
ISBN: 978-3-030-58908-0
SpringerLink
Lời giới thiệu: Cuốn sách này trình bày các hệ thống vi mô cảm ứng và công nghệ hỗn hợp và các ứng dụng của chúng trong các cảm biến vi mô và bộ truyền động. Nó đề xuất và thảo luận về các kỹ thuật phần tử phân tích và bán hữu hạn để mô hình hóa các công nghệ vi hệ thống dựa trên dạng thức Lagrange. Đặc biệt, các ổ trục siêu nhỏ, bộ truyền động, máy gia tốc và máy đo gia tốc dựa trên công nghệ quy nạp được mô tả toàn diện cùng với các phép đo thử nghiệm đi kèm.
Từ khóa: Công nghệ vi hệ thống.Thiết bị truyền động. Bộ truyền động. Thiết bị cảm ứng. Kỹ thuật chế tạo vi mô. Mô hình phân tích.
Nội dung cuốn sách gồm những phần sau:
Giới thiệu về Công nghệ vi hệ thống
Kỹ thuật chế tạo vi cuộn dây
Mô hình phân tích
Mô hình phần tử bán hữu hạn
Hệ thống vi mô bay cảm ứng
Hệ vi mô lai
Nhiễu nhiệt cơ học trong con quay vi mô