Nhóm nghiên cứu tại Trung tâm nghiên cứu triển khai khu công nghệ cao thuộc Ban quản lý Khu Công nghệ cao TP. Hồ Chí Minh đã thực hiện đề tài: “Graphene/lá đồng (Cu) bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học và ứng dụng chế tạo cảm biến nhạy khí trên một đế với mảng các lỗ kích thước micron”. Đề tài do TS. Phạm Thành Trung làm chủ nhiệm, được thực hiện từ năm 2017 đến năm 2020.

Mục tiêu của đề tài là chế tạo 1-2 lớp graphene phủ đồng đều trên lá Cu diện tích 1x1 cm² với kích thước tinh thể từ micromét đến milimét; điều kiện thực nghiệm để thành lập màng graphene 1-2 lớp trên lá Cu; đo tản nhiệt của vật liệu graphene/lá đồng/graphene; kỹ thuật chuyển màng graphene lên đế SiO₂/Si; chế tạo cảm biến và đo thử nghiệm.

Một số kết quả nổi bật của đề tài:

Kết quả 1: Các tác giả đã chế tạo thành công đơn lớp graphene trên 2 mặt lá đồng với mức độ phủ đồng đều và chất lượng tinh thể cao. Kết quả nghiên cứu này đã được đăng tải trên tạp chí Materials Chemistry and Physics. Tính mới: phủ đồng đều hơn so với các công bố hiện nay trên thế giới và có tính khả thi cho quy trình chế tạo linh kiện điện tử số lượng lớn.

Kết quả 2: Tản nhiệt của màng vật liệu graphene trên 2 mặt lá đồng là một ứng dụng nổi bật được trình bày chi tiết trong công bố trên tạp chí Journal of Electronics Materials. Nghiên cứu này có giá trị thực tiễn theo hướng công nghệ tản nhiệt hiệu quả và bảo vệ môi trường so với công nghệ tản nhiệt truyền thống. Tính ứng dụng cao.

Kết quả 3: Kỹ thuật chuyển màng graphene lên trên đế SiO₂/Si theo cách mới nhằm hỗ trợ quy trình chế tạo chip được trình bày chi tiết trong công bố trên tạp chí Materials Today Communications. Kết quả này có tinh mới về mặt kỹ thuật so với những kết quả đã công bố trên thế giới liên quan đế công nghệ chuyển màng graphene.

Có thể tìm đọc báo cáo kết quả nghiên cứu (mã số 17944/2020) tại Cục Thông tin khoa học và công nghệ quốc gia.

N.P.D (NASATI)